Pricelist economico per gas speciali in porcellana di fornitura di elettrone/semiconduttore 99,999% purezza in carbonio tetrafluoruro/tetrafluoromethane cf4 prezzo

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Parametri tecnici

Il tetrafluoride di carbonio è un idrocarburo alogenato con la formula chimica CF4. Può essere considerato un idrocarburo alogenato, metano alogenato, perfluorocarburo o come composto inorganico. Il tetrafluoride di carbonio è un gas incolore e inodore, insolubile in acqua, solubile in benzene e cloroformio. Stabile a temperatura e pressione normali, evitare forti ossidanti, materiali infiammabili o combustibili. Gas non combustibile, la pressione interna del contenitore aumenterà quando esposta a un calore elevato e vi è il pericolo di crack e esplosione. È chimicamente stabile e non infiammabile. Solo il reagente di metallo di ammoniaca-sodio liquido può funzionare a temperatura ambiente. Il tetrafluoride di carbonio è un gas che causa l'effetto serra. È molto stabile, può rimanere nell'atmosfera per molto tempo ed è un gas serra molto potente. Il tetrafluoride di carbonio viene utilizzato nel processo di attacco al plasma di vari circuiti integrati. Viene anche usato come gas laser ed è utilizzato in refrigeranti a bassa temperatura, solventi, lubrificanti, materiali isolanti e refrigeranti per rilevatori a infrarossi. È il gas di attacco al plasma più usato nel settore della microelettronica. È una miscela di gas di alta purezza tetrafluorometano e gas di alta purezza di tetrafluorometano e ossigeno ad alta purezza. Può essere ampiamente usato in silicio, biossido di silicio, nitruro di silicio e vetro fosfosilicato. L'incisione di materiali a film sottile come tungsteno e tungsteno è anche ampiamente utilizzata nella pulizia superficiale di dispositivi elettronici, produzione di celle solari, tecnologia laser, refrigerazione a bassa temperatura, ispezione delle perdite e detergente nella produzione di circuiti stampati. Utilizzato come tecnologia di attacco a bassa temperatura e al plasma a secco per circuiti integrati. Precauzioni per lo stoccaggio: archiviare in un magazzino a gas fresco e ventilato. Tieni lontano dalle fonti di incendio e calore. La temperatura di conservazione non deve superare i 30 ° C. Dovrebbe essere conservato separatamente da combustibili e ossidanti facilmente (combustibili) ed evitare la conservazione mista. L'area di stoccaggio deve essere dotata di attrezzature per il trattamento di emergenza di perdita.

Applicazione:

① refrigerante:

Il tetrafluorometano viene talvolta usato come refrigerante a bassa temperatura.

② Incisione:

È usato nella microfabrificazione elettronica da solo o in combinazione con l'ossigeno come incisione plasmatica per silicio, biossido di silicio e nitruro di silicio.

Pacchetto normale:

Vantaggio:

① High Purity, ultima struttura;

②SO produttore di certificati;

③ Consegna FAST;

④ Sistema di analisi di una linea per il controllo di qualità in ogni fase;

⑤ High Requisite e meticoloso processo per la gestione del cilindro prima del riempimento;