Boron Tricloruro (BCL3)è un composto inorganico comunemente usato nei processi di incisione a secco e deposizione di vapore chimico (CVD) nella produzione di semiconduttori. È un gas incolore con un forte odore pungente a temperatura ambiente ed è sensibile all'aria umida perché idrolizza per produrre acido cloridrico e acido borico.

Applicazioni di tricloruro di boro

Nell'industria dei semiconduttori,Trichloruro di boroè usato principalmente per l'attacco a secco dell'alluminio e come drogante per formare regioni di tipo P su wafer di silicio. Può anche essere usato per incidere materiali come GAAS, SI, ALN e come fonte di boro in alcune applicazioni specifiche. Inoltre, il tricloruro di boro è ampiamente utilizzato nella lavorazione dei metalli, nell'industria del vetro, nell'analisi chimica e nella ricerca di laboratorio.

Sicurezza del tricloruro di boro

Trichloruro di boroè corrosivo e tossico e può causare gravi danni agli occhi e alla pelle. Si idralizza in aria umida per rilasciare gas cloruro di idrogeno tossico. Pertanto, è necessario adottare adeguate misure di sicurezza durante la gestioneTrichloruro di boro, tra cui indossare indumenti protettivi, occhiali e attrezzature di protezione respiratoria e funzionare in un ambiente ben ventilato.