Tricloruro di boro (BCl3)è un composto inorganico comunemente utilizzato nei processi di incisione a secco e deposizione chimica da vapore (CVD) nella produzione di semiconduttori. È un gas incolore con un forte odore pungente a temperatura ambiente ed è sensibile all'aria umida perché si idrolizza producendo acido cloridrico e acido borico.

Applicazioni del tricloruro di boro

Nel settore dei semiconduttori,Tricloruro di boroViene utilizzato principalmente per l'incisione a secco dell'alluminio e come drogante per formare regioni di tipo P su wafer di silicio. Può essere utilizzato anche per l'incisione di materiali come GaAs, Si, AlN e come fonte di boro in alcune applicazioni specifiche. Inoltre, il tricloruro di boro è ampiamente utilizzato nella lavorazione dei metalli, nell'industria del vetro, nell'analisi chimica e nella ricerca di laboratorio.

Sicurezza del tricloruro di boro

Tricloruro di boroè corrosivo e tossico e può causare gravi danni agli occhi e alla pelle. Si idrolizza in aria umida rilasciando gas di cloruro di idrogeno tossico. Pertanto, è necessario adottare adeguate misure di sicurezza durante la manipolazione.Tricloruro di boro, incluso l'uso di indumenti protettivi, occhiali protettivi e dispositivi di protezione delle vie respiratorie, e l'operare in un ambiente ben ventilato.