Cloruro di idrogenoÈ un gas incolore dall'odore pungente. La sua soluzione acquosa è chiamata acido cloridrico, noto anche come acido cloridrico. Il cloruro di idrogeno è molto solubile in acqua. A 0 °C, 1 volume d'acqua può sciogliere circa 500 volumi di cloruro di idrogeno.

Presenta le seguenti proprietà e caratteristiche:

1. Elevata purezza

La purezza del grado elettronicocloruro di idrogenoè molto elevato, solitamente a livelli ppm o inferiori, per garantire che non vengano introdotte impurità nel processo di produzione dei semiconduttori.

2. Inerzia

Si tratta di un gas chimicamente inerte che non reagisce con molte altre sostanze, il che è molto importante per prevenire la contaminazione dei materiali semiconduttori e delle apparecchiature.

3. Elevata stabilità

Grado elettronicocloruro di idrogenoha generalmente una chimica stabile per garantire un'elaborazione affidabile dei semiconduttori.

Nella lavorazione dei semiconduttori, le principali applicazioni dell'acido cloridrico di grado elettronico includono:

1. Pulizia e preparazione della superficie

Come un detergente per superfici efficiente, di grado elettronicocloruro di idrogenoviene utilizzato per rimuovere ossidi e impurità dalla superficie del substrato per garantire la qualità e la purezza dello strato o della pellicola epitassiale.

2.Aiuto alla crescita epitassiale

Utilizzato come agente di trattamento superficiale nel processo epitassiale, contribuisce a migliorare la qualità dello strato epitassiale, a migliorare la corrispondenza del reticolo e a ridurre la formazione di difetti reticolari.

3. Pretrattamento del substrato

Prima della preparazione dei dispositivi semiconduttori, grado elettronicocloruro di idrogenopuò essere utilizzato per trattare la superficie del substrato per formare una base stabile per migliorare l'adesione tra lo strato epitassiale e il substrato.

4. Agente ausiliario di deposizione

Nel processo di deposizione chimica da vapore (CVD) o deposizione fisica da vapore (PVD), l'acido cloridrico di grado elettronico può essere utilizzato come mezzo di trasferimento in fase gassosa per partecipare alla reazione di deposizione dei materiali semiconduttori.

5. Agente di trasferimento in fase gassosa

Come agente di trasferimento in fase gassosa, altri precursori gassosi vengono introdotti nella camera di reazione per aiutare a regolare la velocità di deposizione e l'uniformità del materiale.

Queste caratteristiche rendono il grado elettronicocloruro di idrogenoun importante agente di elaborazione nella tecnologia dei semiconduttori, che ha un impatto fondamentale sulle prestazioni e sull'affidabilità del dispositivo finale.

Oltre al suo utilizzo nella lavorazione dei semiconduttori, l'acido cloridrico di grado elettronico può trovare diversi impieghi in altri settori, tra cui: preparazione di materiali ad elevata purezza, celle a combustibile, crescita di materiali semiconduttori, litografia in fase vapore, analisi dei materiali, ricerca chimica.

In generale, di grado elettronicocloruro di idrogenoè un gas versatile e ad alta purezza che trova un'ampia gamma di applicazioni al di fuori della produzione di semiconduttori.