Cloruro di idrogenoè un gas incolore con un odore pungente. La sua soluzione acquosa è chiamata acido cloridrico, noto anche come acido cloridrico. Il cloruro di idrogeno è molto solubile in acqua. A 0 ° C, 1 volume di acqua può dissolvere circa 500 volumi di cloruro di idrogeno.

Ha le seguenti proprietà e caratteristiche:

1. Alta purezza

La purezza del grado elettronicocloruro di idrogenoè molto alto, di solito a PPM o di livello inferiore, per garantire che non vengano introdotte impurità nel processo di produzione dei semiconduttori.

2. Inertezza

È un gas chimicamente inerte che non reagisce con molte altre sostanze, il che è molto importante per prevenire la contaminazione di materiali e attrezzature per semiconduttori.

3. alta stabilità

Grado elettronicocloruro di idrogenoGeneralmente ha una chimica stabile per garantire un'elaborazione di semiconduttori affidabile.

Nella lavorazione dei semiconduttori, le principali applicazioni del cloruro di idrogeno di grado elettronico includono:

1. Pulizia e preparazione della superficie

Come detergente per superficie efficiente, grado elettronicocloruro di idrogenoviene utilizzato per rimuovere gli ossidi e le impurità dalla superficie del substrato per garantire la qualità e la purezza dello strato e del film epitassiale.

2. Aiuto di crescita epitassiale

Utilizzato come agente di trattamento superficiale nel processo epitassiale, aiuta a migliorare la qualità dello strato epitassiale, migliorare la corrispondenza dei reticoli e ridurre la formazione di difetti reticolari.

3. Pretrattamento del substrato

Prima della preparazione di dispositivi a semiconduttore, grado elettronicocloruro di idrogenoPuò essere utilizzato per trattare la superficie del substrato per formare una base stabile per migliorare l'adesione tra lo strato epitassiale e il substrato.

4. Deposizione Agente ausiliario

Nel processo di deposizione di vapore chimico (CVD) o deposizione di vapore fisico (PVD), l'idrogeno cloruro di grado elettronico può essere usato come mezzo di trasferimento di fase gassosa per partecipare alla reazione di deposizione di materiali a semiconduttore.

5. Agente di trasferimento in fase gassosa

Come agente di trasferimento in fase gassosa, altri precursori gassosi vengono introdotti nella camera di reazione per aiutare a regolare la velocità di deposizione e l'uniformità del materiale.

Queste caratteristiche rendono il grado elettronicocloruro di idrogenoUn importante agente di elaborazione nella tecnologia dei semiconduttori, che ha un impatto chiave sulle prestazioni e sull'affidabilità del dispositivo finale.

Oltre al suo utilizzo nella lavorazione dei semiconduttori, il cloruro di idrogeno di grado elettronico può trovare una varietà di usi in altre aree, tra cui: preparazione di materiali ad alta purezza, celle a combustibile, crescita dei materiali a semiconduttore, litografia in fase vapore, analisi del materiale, ricerca chimica.

In generale, grado elettronicocloruro di idrogenoè un gas versatile e ad alta purezza che ha una vasta gamma di applicazioni al di fuori della produzione di semiconduttori.