Il gas laser viene utilizzato principalmente per la ricottura laser e per la litografia nell'industria elettronica. Grazie all'innovazione degli schermi dei telefoni cellulari e all'espansione dei campi di applicazione, la portata del mercato del polisilicio a bassa temperatura verrà ulteriormente ampliata e il processo di ricottura laser ha migliorato significativamente le prestazioni dei TFT. Tra i gas neon, fluoro e argon utilizzati nel laser a eccimeri ArF per la produzione di semiconduttori, il neon rappresenta oltre il 96% della miscela di gas laser. Con il perfezionamento della tecnologia dei semiconduttori, l'uso dei laser a eccimeri è aumentato e l'introduzione della tecnologia a doppia esposizione ha portato a un forte aumento della domanda di gas neon consumato dai laser a eccimeri ArF. Grazie alla promozione della localizzazione di gas speciali per l'elettronica, i produttori nazionali avranno maggiori opportunità di crescita sul mercato in futuro.
La macchina litografica è l'apparecchiatura principale nella produzione di semiconduttori. La litografia definisce le dimensioni dei transistor. Lo sviluppo coordinato della filiera della litografia è la chiave per la svolta della macchina litografica. I materiali semiconduttori corrispondenti, come fotoresist, gas per fotolitografia, fotomaschere e apparecchiature di rivestimento e sviluppo, hanno un elevato contenuto tecnologico. Il gas per litografia è il gas che la macchina litografica genera per il laser ultravioletto profondo. Diversi gas per litografia possono produrre sorgenti luminose di diverse lunghezze d'onda, e la loro lunghezza d'onda influenza direttamente la risoluzione della macchina litografica, che è uno dei suoi componenti principali. Nel 2020, le vendite globali totali di macchine litografiche saranno di 413 unità, di cui 258 unità vendute da ASML, il 62%, 122 unità vendute da Canon, il 30% e 33 unità vendute da Nikon, l'8%.
Data di pubblicazione: 15-10-2021
