Il gas laser è utilizzato principalmente per la ricottura laser e come gas per la litografia nell'industria elettronica. Grazie all'innovazione degli schermi per telefoni cellulari e all'espansione dei campi di applicazione, il mercato del polisilicio a bassa temperatura si espanderà ulteriormente e il processo di ricottura laser ha migliorato significativamente le prestazioni dei TFT. Tra i gas neon, fluoro e argon utilizzati nei laser a eccimeri ArF per la produzione di semiconduttori, il neon rappresenta oltre il 96% della miscela di gas laser. Con il perfezionamento della tecnologia dei semiconduttori, l'uso dei laser a eccimeri è aumentato e l'introduzione della tecnologia a doppia esposizione ha portato a un forte aumento della domanda di gas neon utilizzato dai laser a eccimeri ArF. Grazie alla promozione della localizzazione dei gas speciali per l'elettronica, i produttori nazionali avranno maggiori opportunità di crescita sul mercato in futuro.
La macchina per la litografia è l'apparecchiatura fondamentale per la produzione di semiconduttori. La litografia definisce le dimensioni dei transistor. Lo sviluppo coordinato della filiera industriale della litografia è la chiave per il successo di questa tecnologia. I materiali semiconduttori utilizzati, come il fotoresist, il gas per fotolitografia, la fotomaschera e le apparecchiature di rivestimento e sviluppo, hanno un elevato contenuto tecnologico. Il gas per litografia è il gas che la macchina genera con un laser a ultravioletti profondi. Diversi gas per litografia possono produrre sorgenti luminose di diverse lunghezze d'onda, e la loro lunghezza d'onda influenza direttamente la risoluzione della macchina, che rappresenta uno degli elementi chiave della litografia. Nel 2020, le vendite globali totali di macchine per litografia sono state pari a 413 milioni di unità, di cui 258 unità (62%) vendute da ASML, 122 unità (30%) vendute da Canon e 33 unità (8%) vendute da Nikon.
Data di pubblicazione: 15 ottobre 2021
