Il gas speciale elettronico più usato - trifluoruro di azoto

I gas elettronici speciali comuni contenenti fluoro includonoSulphur Hexafluoride (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6),tetrafluoride di carbonio (CF4), Trifluorometano (CHF3), azoto trifluoride (NF3), esafluoroetane (C2F6) e octafluoropropano (C3F8).

Con lo sviluppo della nanotecnologia e lo sviluppo su larga scala dell'industria elettronica, la sua domanda aumenterà di giorno in giorno. Il trifluoruro di azoto, come gas elettronico speciale indispensabile e più utilizzato nella produzione e nella lavorazione di pannelli e semiconduttori, ha un ampio spazio di mercato.

Come un tipo di gas speciale contenente fluoro,Trifluoruro di azoto (NF3)è il prodotto elettronico a gas speciale con la maggiore capacità di mercato. È chimicamente inerte a temperatura ambiente, più attivo dell'ossigeno ad alta temperatura, più stabile del fluoro e facile da gestire. Il trifluoride di azoto viene utilizzato principalmente come gas di attacco al plasma e agente di pulizia della camera di reazione ed è adatto per i campi di produzione di chip a semiconduttore, display a pannelli piatti, fibre ottiche, celle fotovoltaiche, ecc.

Rispetto ad altri gas elettronici contenenti fluoro,azoto trifluoruroha i vantaggi della reazione rapida e dell'alta efficienza. Soprattutto nell'incisione di materiali contenenti al silicio come il nitruro di silicio, ha una velocità di incisione e una selettività elevate, non lasciando residui sulla superficie dell'oggetto inciso. È anche un ottimo agente di pulizia e non ha inquinamento in superficie, che può soddisfare le esigenze del processo di elaborazione.