I gas elettronici speciali contenenti fluoro più comuni includono:esafluoruro di zolfo (SF6), esafluoruro di tungsteno (WF6),tetrafluoruro di carbonio (CF4), trifluorometano (CHF3), trifluoruro di azoto (NF3), esafluoroetano (C2F6) e ottafluoropropano (C3F8).
Con lo sviluppo delle nanotecnologie e la crescita su larga scala dell'industria elettronica, la sua domanda aumenterà di giorno in giorno. Il trifluoruro di azoto, in quanto gas elettronico speciale indispensabile e ampiamente utilizzato nella produzione e lavorazione di pannelli e semiconduttori, gode di un ampio spazio di mercato.
Come tipo di gas speciale contenente fluoro,trifluoruro di azoto (NF3)Il trifluoruro di azoto è il gas speciale per l'elettronica con la maggiore capacità di mercato. È chimicamente inerte a temperatura ambiente, più attivo dell'ossigeno ad alta temperatura, più stabile del fluoro e facile da maneggiare. Il trifluoruro di azoto è utilizzato principalmente come gas per la deposizione al plasma e come agente per la pulizia delle camere di reazione, ed è adatto ai settori di produzione di chip semiconduttori, display a schermo piatto, fibre ottiche, celle fotovoltaiche, ecc.
Rispetto ad altri gas elettronici contenenti fluoro,trifluoruro di azotoPresenta i vantaggi di una reazione rapida e di un'elevata efficienza. In particolare, nell'incisione di materiali contenenti silicio, come il nitruro di silicio, mostra un'elevata velocità di incisione e selettività, senza lasciare residui sulla superficie dell'oggetto inciso. È inoltre un ottimo agente pulente e non inquina la superficie, soddisfacendo così le esigenze del processo di lavorazione.
Data di pubblicazione: 14 settembre 2024
