Il gas speciale elettronico più utilizzato è il trifluoruro di azoto

I gas elettronici speciali contenenti fluoro più comuni includonoesafluoruro di zolfo (SF6), esafluoruro di tungsteno (WF6),tetrafluoruro di carbonio (CF4), trifluorometano (CHF3), trifluoruro di azoto (NF3), esafluoroetano (C2F6) e ottafluoropropano (C3F8).

Con lo sviluppo della nanotecnologia e l'espansione su larga scala dell'industria elettronica, la sua domanda aumenterà di giorno in giorno. Il trifluoruro di azoto, gas elettronico speciale indispensabile e ampiamente utilizzato nella produzione e lavorazione di pannelli e semiconduttori, ha un ampio spazio di mercato.

Come un tipo di gas speciale contenente fluoro,trifluoruro di azoto (NF3)È il gas speciale per elettronica con la maggiore capacità di mercato. È chimicamente inerte a temperatura ambiente, più attivo dell'ossigeno ad alte temperature, più stabile del fluoro e facile da maneggiare. Il trifluoruro di azoto è utilizzato principalmente come gas per l'incisione al plasma e come agente di pulizia per camere di reazione, ed è adatto per la produzione di chip semiconduttori, display a schermo piatto, fibre ottiche, celle fotovoltaiche, ecc.

Rispetto ad altri gas elettronici contenenti fluoro,trifluoruro di azotoPresenta i vantaggi di una reazione rapida e di un'elevata efficienza. Soprattutto nell'incisione di materiali contenenti silicio come il nitruro di silicio, presenta un'elevata velocità di incisione e selettività, senza lasciare residui sulla superficie dell'oggetto inciso. È anche un ottimo agente detergente e non inquina la superficie, il che può soddisfare le esigenze del processo di lavorazione.