Tetrafluoruro di carbonio (CF4)

Parametri tecnici

Il tetrafluoruro di carbonio è un idrocarburo alogenato con la formula chimica CF4.Può essere considerato un idrocarburo alogenato, metano alogenato, perfluorocarburo o un composto inorganico.Il tetrafluoruro di carbonio è un gas incolore e inodore, insolubile in acqua, solubile in benzene e cloroformio.Stabile a temperatura e pressione normali, evitare forti ossidanti, materiali infiammabili o combustibili.Gas non combustibile, la pressione interna del contenitore aumenterà se esposto a calore elevato e sussiste il pericolo di crepe ed esplosioni.È chimicamente stabile e non infiammabile.Solo il reagente liquido ammoniaca-sodio metallico può funzionare a temperatura ambiente.Il tetrafluoruro di carbonio è un gas che provoca l'effetto serra.È molto stabile, può rimanere a lungo nell'atmosfera ed è un gas serra molto potente.Il tetrafluoruro di carbonio viene utilizzato nel processo di attacco al plasma di vari circuiti integrati.Viene utilizzato anche come gas laser e viene utilizzato in refrigeranti a bassa temperatura, solventi, lubrificanti, materiali isolanti e refrigeranti per rilevatori a infrarossi.È il gas di attacco al plasma più utilizzato nell'industria microelettronica.È una miscela di gas ad alta purezza tetrafluorometano e gas ad alta purezza tetrafluorometano e ossigeno ad alta purezza.Può essere ampiamente utilizzato in silicio, biossido di silicio, nitruro di silicio e vetro fosfosilicato.L'attacco di materiali a film sottile come il tungsteno e il tungsteno è anche ampiamente utilizzato nella pulizia superficiale di dispositivi elettronici, produzione di celle solari, tecnologia laser, refrigerazione a bassa temperatura, ispezione delle perdite e detergente nella produzione di circuiti stampati.Utilizzato come refrigerante a bassa temperatura e tecnologia di incisione a secco al plasma per circuiti integrati.Precauzioni per lo stoccaggio: Conservare in un magazzino di gas non combustibile fresco e ventilato.Tenere lontano da fuoco e fonti di calore.La temperatura di conservazione non deve superare i 30°C.Dovrebbe essere immagazzinato separatamente da combustibili e ossidanti facilmente (infiammabili) ed evitare lo stoccaggio misto.L'area di stoccaggio deve essere dotata di attrezzature per il trattamento di emergenza delle perdite.

Applicazione:

① Refrigerante:

Il tetrafluorometano viene talvolta utilizzato come refrigerante a bassa temperatura.

② Acquaforte:

Viene utilizzato nella microfabbricazione elettronica da solo o in combinazione con l'ossigeno come agente di attacco al plasma per silicio, biossido di silicio e nitruro di silicio.

Pacchetto normale:

Vantaggio:

①Elevata purezza, ultima struttura;

②Produttore certificato ISO;

③Consegna veloce;

④Sistema di analisi in linea per il controllo della qualità in ogni fase;

⑤ Requisiti elevati e processo meticoloso per la movimentazione del cilindro prima del riempimento;