Componente | 99,9999% | Unità |
Ossigeno (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azoto | ≤0,1 | ppmV |
Idrogeno | ≤20 | ppmV |
Elio | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Clorosilani | ≤0,1 | ppmV |
Disilossanico | ≤0,1 | ppmV |
Disilano | ≤0,1 | ppmV |
Umidità (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Il silano è un composto di silicio e idrogeno.È un termine generico per una serie di composti, tra cui monosilano (SiH4), disilano (Si2H6) e alcuni composti silicio-idrogeno di livello superiore.Tra questi, il monosilano è il più comune, a volte indicato come silano in breve.Il silano è un gas incolore con un disgustoso odore di aglio.Solubile in acqua, quasi insolubile in etanolo, etere, benzene, cloroformio, cloroformio di silicio e tetracloruro di silicio.Le proprietà chimiche dei silani sono molto più attive degli alcani e si ossidano facilmente.La combustione spontanea può verificarsi a contatto con l'aria.Non reagisce con l'azoto al di sotto dei 25°C e non reagisce con i composti idrocarburici a temperatura ambiente.Il fuoco e l'esplosione del silano sono il risultato della reazione con l'ossigeno.Il silano è estremamente sensibile all'ossigeno e all'aria.Il silano con una certa concentrazione reagirà anche in modo esplosivo con l'ossigeno a una temperatura di -180°C.Il silano è diventato il gas speciale più importante utilizzato nei processi di microelettronica dei semiconduttori e viene utilizzato nella preparazione di vari film microelettronici, inclusi film monocristallini, microcristallini, policristallini, ossido di silicio, nitruro di silicio e siliciuri metallici.Le applicazioni microelettroniche del silano si stanno ancora sviluppando in profondità: epitassia a bassa temperatura, epitassia selettiva ed epitassia eteroepitassiale.Non solo per dispositivi in silicio e circuiti integrati in silicio, ma anche per dispositivi semiconduttori composti (arseniuro di gallio, carburo di silicio, ecc.).Ha anche applicazioni nella preparazione di materiali per pozzi quantici superlattice.Si può dire che il silano è utilizzato in quasi tutte le linee di produzione di circuiti integrati avanzati nei tempi moderni.L'applicazione del silano come pellicola e rivestimento contenente silicio si è estesa dall'industria microelettronica tradizionale a vari campi come l'acciaio, i macchinari, i prodotti chimici e l'ottica.Un'altra potenziale applicazione del silano è la produzione di parti di motori in ceramica ad alte prestazioni, in particolare l'uso del silano per la produzione di micropolveri di siliciuro (Si3N4, SiC, ecc.) La tecnologia ha attirato sempre più attenzione.
①Elettronica:
Il silano viene applicato agli strati di silicio policristallino sui wafer di silicio durante la produzione di semiconduttori e sigillanti.
② Solare:
Il silano è utilizzato nella produzione di moduli solari fotovoltaici.
③Industriale:
Viene utilizzato nel vetro verde a risparmio energetico e applicato al processo di deposizione di film sottili da vapore.
Prodotto | Silano SiH4 Liquido | |
Dimensione del pacchetto | Cilindro da 47 litri | Y-440L |
Peso netto riempimento/cil | 10 kg | 125 kg |
QTY Caricato in 20'Contenitore | 250 cilindri | 8 cilindri |
Peso netto totale | 2,5 tonnellate | 1 tonnellata |
Tara del cilindro | 52 kg | 680 kg |
Valvola | CGA632/DISS632 |
①Più di dieci anni sul mercato;
②Produttore certificato ISO;
③Consegna veloce;
④Fonte stabile di materie prime;
⑤Sistema di analisi in linea per il controllo qualità in ogni fase;
⑥ Requisiti elevati e processo meticoloso per la movimentazione del cilindro prima del riempimento;
⑦Purity: grado elettronico di elevata purezza;
⑧Utilizzo: materiali per celle solari;produzione di polisilicio di elevata purezza, ossido di silicio e fibra ottica;lavorazione del vetro colorato.