Silanoè un composto di silicio e idrogeno ed è un termine generale per una serie di composti. Il silano comprende principalmente monosilano (SiH4), disilano (Si2H6) e alcuni composti di idrogeno di silicio di livello superiore, con la formula generale SinH2n+2. Tuttavia, nella produzione effettiva, generalmente ci riferiamo al monosilano (formula chimica SiH4) come “silano”.

Di livello elettronicogas silanosi ottiene principalmente mediante varie distillazioni e purificazioni di reazione di polvere di silicio, idrogeno, tetracloruro di silicio, catalizzatore, ecc. Il silano con una purezza da 3N a 4N è chiamato silano di grado industriale, mentre il silano con una purezza superiore a 6N è chiamato elettronico- gas silano di grado.

Come fonte di gas per il trasporto di componenti in silicio,gas silanoè diventato un importante gas speciale che non può essere sostituito da molte altre fonti di silicio a causa della sua elevata purezza e capacità di ottenere un controllo preciso. Il monosilano genera silicio cristallino attraverso la reazione di pirolisi, che è attualmente uno dei metodi per la produzione su larga scala di silicio monocristallino granulare e silicio policristallino nel mondo.

Caratteristiche silaniche

Silano (SiH4)è un gas incolore che reagisce con l'aria e provoca soffocamento. Il suo sinonimo è idruro di silicio. La formula chimica del silano è SiH4 e il suo contenuto arriva fino al 99,99%. A temperatura e pressione ambiente, il silano è un gas tossico maleodorante. Il punto di fusione del silano è -185℃ e il punto di ebollizione è -112℃. A temperatura ambiente, il silano è stabile, ma se riscaldato a 400 ℃ si decompone completamente in silicio gassoso e idrogeno. Il silano è infiammabile ed esplosivo e brucia in modo esplosivo nell'aria o nel gas alogeno.

Campi di applicazione

Il silano ha una vasta gamma di usi. Oltre ad essere il modo più efficace per fissare le molecole di silicio alla superficie della cella durante la produzione di celle solari, è anche ampiamente utilizzato in impianti di produzione come semiconduttori, display a schermo piatto e vetro rivestito.

Silanoè la fonte di silicio per processi di deposizione chimica da vapore come silicio monocristallino, wafer epitassiali di silicio policristallino, biossido di silicio, nitruro di silicio e vetro fosfosilicato nell'industria dei semiconduttori ed è ampiamente utilizzato nella produzione e nello sviluppo di celle solari, tamburi di fotocopiatrici in silicio , sensori fotoelettrici, fibre ottiche e vetri speciali.

Negli ultimi anni stanno ancora emergendo applicazioni high-tech dei silani, inclusa la produzione di ceramiche avanzate, materiali compositi, materiali funzionali, biomateriali, materiali ad alta energia, ecc., diventando la base di molte nuove tecnologie, nuovi materiali e nuovi dispositivi.