Silanoè un composto di silicio e idrogeno, ed è un termine generico per una serie di composti. Il silano include principalmente il monosilano (SiH4), il disilano (Si2H6) e alcuni composti di silicio e idrogeno di livello superiore, con formula generale SinH2n+2. Tuttavia, nella produzione effettiva, ci riferiamo generalmente al monosilano (formula chimica SiH4) come "silano".

Di grado elettronicogas silanosi ottiene principalmente tramite varie reazioni di distillazione e purificazione di polvere di silicio, idrogeno, tetracloruro di silicio, catalizzatore, ecc. Il silano con una purezza da 3N a 4N è chiamato silano di grado industriale, mentre il silano con una purezza superiore a 6N è chiamato gas silano di grado elettronico.

Come fonte di gas per il trasporto di componenti in silicio,gas silanoÈ diventato un importante gas speciale che non può essere sostituito da molte altre fonti di silicio grazie alla sua elevata purezza e alla capacità di ottenere un controllo preciso. Il monosilano genera silicio cristallino attraverso la reazione di pirolisi, che è attualmente uno dei metodi per la produzione su larga scala di silicio monocristallino e policristallino granulare al mondo.

Caratteristiche del silano

Silano (SiH4)È un gas incolore che reagisce con l'aria e provoca soffocamento. Il suo sinonimo è l'idruro di silicio. La formula chimica del silano è SiH4 e il suo contenuto può arrivare fino al 99,99%. A temperatura e pressione ambiente, il silano è un gas tossico maleodorante. Il punto di fusione del silano è -185 °C e il punto di ebollizione è -112 °C. A temperatura ambiente, il silano è stabile, ma se riscaldato a 400 °C, si decompone completamente in silicio gassoso e idrogeno. Il silano è infiammabile ed esplosivo e brucia in modo esplosivo in aria o in gas alogeni.

Campi di applicazione

Il silano ha una vasta gamma di utilizzi. Oltre a essere il metodo più efficace per legare le molecole di silicio alla superficie della cella durante la produzione di celle solari, è anche ampiamente utilizzato in impianti di produzione come semiconduttori, display a schermo piatto e vetro rivestito.

Silanoè la fonte di silicio per i processi di deposizione chimica da vapore, come silicio monocristallino, wafer epitassiali di silicio policristallino, biossido di silicio, nitruro di silicio e vetro fosfosilicato nell'industria dei semiconduttori, ed è ampiamente utilizzato nella produzione e nello sviluppo di celle solari, tamburi fotocopiatori in silicio, sensori fotoelettrici, fibre ottiche e vetro speciale.

Negli ultimi anni, stanno emergendo applicazioni high-tech dei silani, tra cui la produzione di ceramiche avanzate, materiali compositi, materiali funzionali, biomateriali, materiali ad alta energia, ecc., che stanno diventando la base di molte nuove tecnologie, nuovi materiali e nuovi dispositivi.