Elettronicogas specialisono un ramo importante di gas speciali. Penetrano quasi tutti i collegamenti della produzione di semiconduttori e sono materie prime indispensabili per la produzione di industrie elettroniche come circuiti integrati su scala ultra-larga, dispositivi di visualizzazione di pannelli piatti e celle solari.

Nella tecnologia dei semiconduttori, i gas contenenti fluoro sono ampiamente utilizzati. Attualmente, nel mercato globale dei gas elettronici, i gas elettronici contenenti fluoro rappresentano circa il 30% del totale. I gas elettronici contenenti fluoro sono un componente importante di speciali gas elettronici nel campo dei materiali informatici elettronici. Sono usati principalmente come agenti di pulizia e agenti di incisione e possono anche essere usati come droganti, materiali che formano i film, ecc. In questo articolo, l'autore ti porterà a comprendere i gas comuni contenenti fluoro.

I seguenti sono comunemente usati gas contenenti fluoro

Trifluoruro di azoto (NF3): un gas utilizzato per la pulizia e la rimozione di depositi, solitamente utilizzato per le camere di reazione e le superfici delle attrezzature.

Sulphur Hexafluoride (SF6): Un agente fluorurante utilizzato nei processi di deposizione di ossido e come gas isolante per riempire i media isolanti.

Fluoruro di idrogeno (HF): utilizzato per rimuovere gli ossidi dalla superficie del silicio e come incisione per l'attacco di silicio e altri materiali.

Azoto fluoruro (NF): usato per incidere materiali come nitruro di silicio (SIN) e nitruro di alluminio (ALN).

Trifluorometano (CHF3) eTetrafluorometano (CF4): Usato per incidere materiali a fluoro come fluoruro di silicio e fluoruro di alluminio.

Tuttavia, i gas contenenti fluoro hanno alcuni pericoli, tra cui tossicità, corrosività e infiammabilità.

Tossicità

Alcuni gas contenenti fluoro sono tossici, come il fluoruro di idrogeno (HF), il cui vapore è altamente irritante per la pelle e il tratto respiratorio e dannoso per la salute umana.

Corrosività

Il fluoruro di idrogeno e alcuni fluoruri sono altamente corrosivi e possono causare gravi danni alla pelle, agli occhi e al tratto respiratorio.

Infiammabilità

Alcuni fluoruri sono infiammabili e reagiscono con ossigeno o acqua nell'aria per rilasciare calore e gas tossici intensi, che possono causare incendi o esplosione.

Pericolo ad alta pressione

Alcuni gas fluorurati sono esplosivi ad alta pressione e richiedono cure speciali se utilizzati e conservati.

Impatto sull'ambiente

I gas contenenti fluoro hanno alti vite atmosferiche e valori GWP, che hanno un effetto distruttivo sullo strato di ozono atmosferico e possono causare riscaldamento globale e inquinamento ambientale.

L'applicazione di gas in campi emergenti come l'elettronica continua ad approfondire, portando una grande quantità di nuove richieste di gas industriali. Sulla base della grande quantità di nuova capacità produttiva dei principali componenti elettronici come i semiconduttori e i pannelli di visualizzazione nella Cina continentale nei prossimi anni, nonché la forte domanda di sostituzione delle importazioni di materiali chimici elettronici, l'industria del gas elettronico interno inaugurerà un alto tasso di crescita.