Elettronicogas specialisono un ramo importante dei gas speciali. Penetrano in quasi ogni anello della produzione di semiconduttori e sono materie prime indispensabili per la produzione di industrie elettroniche come circuiti integrati su larga scala, dispositivi di visualizzazione a schermo piatto e celle solari.

Nella tecnologia dei semiconduttori, i gas contenenti fluoro sono ampiamente utilizzati. Attualmente, nel mercato globale dei gas elettronici, i gas elettronici contenenti fluoro rappresentano circa il 30% del totale. I gas elettronici contenenti fluoro sono un componente importante dei gas elettronici speciali nel campo dei materiali informativi elettronici. Sono utilizzati principalmente come detergenti e agenti di incisione e possono anche essere usati come droganti, materiali filmogeni, ecc. In questo articolo, l'autore ti porterà a comprendere i comuni gas contenenti fluoro.

I seguenti sono gas contenenti fluoro comunemente usati

Trifluoruro di azoto (NF3): un gas utilizzato per pulire e rimuovere i depositi, solitamente utilizzato per pulire le camere di reazione e le superfici delle apparecchiature.

Esafluoruro di zolfo (SF6): Un agente fluorurante utilizzato nei processi di deposizione di ossido e come gas isolante per il riempimento di mezzi isolanti.

Acido fluoridrico (HF): utilizzato per rimuovere gli ossidi dalla superficie del silicio e come agente mordenzante per incidere il silicio e altri materiali.

Fluoruro di azoto (NF): utilizzato per incidere materiali come nitruro di silicio (SiN) e nitruro di alluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4): Utilizzato per incidere materiali fluorurati come fluoruro di silicio e fluoruro di alluminio.

Tuttavia, i gas contenenti fluoro presentano alcuni pericoli, tra cui tossicità, corrosività e infiammabilità.

Tossicità

Alcuni gas contenenti fluoro sono tossici, come il fluoruro di idrogeno (HF), i cui vapori sono altamente irritanti per la pelle e le vie respiratorie e dannosi per la salute umana.

Corrosività

Il fluoruro di idrogeno e alcuni fluoruri sono altamente corrosivi e possono causare gravi danni alla pelle, agli occhi e alle vie respiratorie.

Infiammabilità

Alcuni fluoruri sono infiammabili e reagiscono con l'ossigeno o l'acqua nell'aria rilasciando calore intenso e gas tossici, che possono causare incendi o esplosioni.

Pericolo di alta pressione

Alcuni gas fluorurati sono esplosivi ad alta pressione e richiedono particolare attenzione quando utilizzati e conservati.

Impatto sull'ambiente

I gas contenenti fluoro hanno una durata atmosferica e valori GWP elevati, che hanno un effetto distruttivo sullo strato di ozono atmosferico e possono causare il riscaldamento globale e l’inquinamento ambientale.

L’applicazione dei gas in campi emergenti come quello dell’elettronica continua ad espandersi, portando una grande quantità di nuova domanda di gas industriali. Sulla base della grande quantità di nuova capacità produttiva dei principali componenti elettronici come semiconduttori e pannelli di visualizzazione nella Cina continentale nei prossimi anni, nonché della forte domanda di sostituzione delle importazioni di materiali chimici elettronici, l’industria nazionale del gas elettronico introdurrà un tasso di crescita elevato.