Elettronicogas specialiSono un'importante branca dei gas speciali. Sono impiegati in quasi ogni fase della produzione di semiconduttori e sono materie prime indispensabili per la produzione di componenti elettronici come circuiti integrati di grandi dimensioni, dispositivi di visualizzazione a schermo piatto e celle solari.

Nella tecnologia dei semiconduttori, i gas contenenti fluoro sono ampiamente utilizzati. Attualmente, nel mercato globale dei gas elettronici, i gas contenenti fluoro rappresentano circa il 30% del totale. I gas contenenti fluoro sono un componente importante dei gas elettronici speciali nel campo dei materiali informatici elettronici. Sono utilizzati principalmente come agenti di pulizia e di incisione, ma possono anche essere utilizzati come droganti, materiali filmogeni, ecc. In questo articolo, l'autore vi guiderà alla comprensione dei gas contenenti fluoro più comuni.

I seguenti sono gas contenenti fluoro comunemente utilizzati

Trifluoruro di azoto (NF3): gas utilizzato per la pulizia e la rimozione dei depositi, solitamente impiegato per la pulizia delle camere di reazione e delle superfici delle apparecchiature.

Esafluoruro di zolfo (SF6): Agente fluorurante utilizzato nei processi di deposizione di ossidi e come gas isolante per il riempimento di supporti isolanti.

Fluoruro di idrogeno (HF): utilizzato per rimuovere gli ossidi dalla superficie del silicio e come agente mordenzante per l'incisione del silicio e di altri materiali.

Fluoruro di azoto (NF): utilizzato per incidere materiali come il nitruro di silicio (SiN) e il nitruro di alluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4): Utilizzato per incidere materiali fluorurati come fluoruro di silicio e fluoruro di alluminio.

Tuttavia, i gas contenenti fluoro presentano alcuni pericoli, tra cui tossicità, corrosività e infiammabilità.

Tossicità

Alcuni gas contenenti fluoro sono tossici, come il fluoruro di idrogeno (HF), i cui vapori sono altamente irritanti per la pelle e le vie respiratorie e nocivi per la salute umana.

Corrosività

Il fluoruro di idrogeno e alcuni fluoruri sono altamente corrosivi e possono causare gravi danni alla pelle, agli occhi e alle vie respiratorie.

Infiammabilità

Alcuni fluoruri sono infiammabili e reagiscono con l'ossigeno o l'acqua presenti nell'aria, liberando calore intenso e gas tossici, che possono causare incendi o esplosioni.

Pericolo di alta pressione

Alcuni gas fluorurati sono esplosivi ad alta pressione e richiedono particolare attenzione durante l'uso e lo stoccaggio.

Impatto sull'ambiente

I gas contenenti fluoro hanno tempi di vita atmosferici e valori GWP elevati, che hanno un effetto distruttivo sullo strato di ozono atmosferico e possono causare il riscaldamento globale e l'inquinamento ambientale.

L'applicazione dei gas in settori emergenti come l'elettronica continua ad ampliarsi, generando una nuova e consistente domanda di gas industriali. Grazie all'elevata capacità produttiva di importanti componenti elettronici, come semiconduttori e display, nella Cina continentale nei prossimi anni, nonché alla forte domanda di materiali chimici elettronici sostitutivi delle importazioni, l'industria nazionale dei gas per l'elettronica registrerà un elevato tasso di crescita.