Elettronicogas specialiCostituiscono un'importante categoria di gas speciali. Sono presenti in quasi ogni fase della produzione di semiconduttori e rappresentano materie prime indispensabili per la produzione di componenti elettronici come circuiti integrati a larghissima scala, display a schermo piatto e celle solari.

Nell'ambito della tecnologia dei semiconduttori, i gas contenenti fluoro sono ampiamente utilizzati. Attualmente, nel mercato globale dei gas elettronici, i gas elettronici contenenti fluoro rappresentano circa il 30% del totale. I gas elettronici contenenti fluoro sono una componente importante dei gas elettronici speciali nel campo dei materiali per l'informazione elettronica. Sono utilizzati principalmente come agenti di pulizia e di incisione, e possono essere impiegati anche come droganti, materiali filmogeni, ecc. In questo articolo, l'autore vi guiderà alla comprensione dei gas contenenti fluoro più comuni.

Di seguito sono elencati i gas contenenti fluoro di uso comune.

Trifluoruro di azoto (NF3): un gas utilizzato per la pulizia e la rimozione di depositi, solitamente impiegato per la pulizia di camere di reazione e superfici di apparecchiature.

Esafluoruro di zolfo (SF6): Un agente fluorurante utilizzato nei processi di deposizione di ossidi e come gas isolante per il riempimento di materiali isolanti.

Fluoruro di idrogeno (HF): utilizzato per rimuovere gli ossidi dalla superficie del silicio e come agente di incisione per il silicio e altri materiali.

Fluoruro di azoto (NF): utilizzato per incidere materiali come il nitruro di silicio (SiN) e il nitruro di alluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4)Utilizzato per incidere materiali fluorurati come il fluoruro di silicio e il fluoruro di alluminio.

Tuttavia, i gas contenenti fluoro presentano alcuni pericoli, tra cui tossicità, corrosività e infiammabilità.

Tossicità

Alcuni gas contenenti fluoro sono tossici, come il fluoruro di idrogeno (HF), i cui vapori sono altamente irritanti per la pelle e le vie respiratorie e dannosi per la salute umana.

Corrosità

Il fluoruro di idrogeno e alcuni fluoruri sono altamente corrosivi e possono causare gravi danni alla pelle, agli occhi e alle vie respiratorie.

Infiammabilità

Alcuni fluoruri sono infiammabili e reagiscono con l'ossigeno o l'acqua presenti nell'aria rilasciando calore intenso e gas tossici, che possono causare incendi o esplosioni.

Pericolo di alta pressione

Alcuni gas fluorurati sono esplosivi ad alta pressione e richiedono particolare attenzione durante l'uso e lo stoccaggio.

Impatto sull'ambiente

I gas contenenti fluoro hanno lunghi tempi di permanenza in atmosfera e valori di GWP elevati, che hanno un effetto distruttivo sullo strato di ozono atmosferico e possono causare riscaldamento globale e inquinamento ambientale.

L'impiego dei gas in settori emergenti come l'elettronica continua a intensificarsi, generando una notevole domanda di gas industriali. Grazie all'ingente capacità produttiva di nuovi componenti elettronici di primaria importanza, come semiconduttori e pannelli display, prevista nella Cina continentale nei prossimi anni, nonché alla forte domanda di sostituzione delle importazioni di materiali chimici per l'elettronica, il settore nazionale dei gas per l'elettronica registrerà un elevato tasso di crescita.