Che cos'è il tetrafluoride di carbonio? A che serve?

Cosa ètetrafluoride di carbonio? A che serve?

Tetrafluoride di carbonio, noto anche come tetrafluorometano, è considerato un composto inorganico. Viene utilizzato nel processo di attacco al plasma di vari circuiti integrati e utilizzato anche come gas laser e refrigerante. È relativamente stabile a temperatura e pressione normali, ma è necessario evitare il contatto con solidi ossidanti, materiali infiammabili o combustibili. Il tetrafluoride di carbonio è un gas non combustibile. Se incontra un calore elevato, causerà l'aumento della pressione interna del contenitore e c'è il pericolo di crack e esplosione. Di solito può interagire solo con il reagente di metallo di ammoniaca-sodio liquido a temperatura ambiente.

Tetrafluoride di carbonioè attualmente il più grande gas di attacco al plasma utilizzato nel settore della microelettronica. Può essere ampiamente utilizzato nell'attacco di silicio, biossido di silicio, vetro fosfosilicato e altri materiali a film sottile, pulire la superficie dei dispositivi elettronici, la produzione di cellule solari, la tecnologia laser, l'isolamento in fase gassosa, la refrigerazione a bassa temperatura, gli agenti di rilevamento delle perdite e i detergenti nella produzione di circuiti stampati hanno un gran numero di applicazioni.