Cosa ètetrafluoruro di carbonioA cosa serve?
tetrafluoruro di carbonioIl tetrafluorometano, noto anche come anidride carbonica, è considerato un composto inorganico. Viene utilizzato nel processo di incisione al plasma di vari circuiti integrati, nonché come gas laser e refrigerante. È relativamente stabile a temperatura e pressione normali, ma è necessario evitare il contatto con forti ossidanti, materiali infiammabili o combustibili. Il tetrafluoruro di carbonio è un gas non combustibile. Se esposto a temperature elevate, provoca un aumento della pressione interna del contenitore, con conseguente rischio di rottura ed esplosione. Di solito, a temperatura ambiente, può interagire solo con reagenti liquidi a base di ammoniaca e sodio metallico.
tetrafluoruro di carbonioAttualmente è il gas di incisione al plasma più utilizzato nell'industria microelettronica. Trova ampio impiego nell'incisione di silicio, biossido di silicio, vetro fosfosilicato e altri materiali a film sottile, nella pulizia della superficie di dispositivi elettronici, nella produzione di celle solari, nella tecnologia laser, nell'isolamento in fase gassosa, nella refrigerazione a bassa temperatura, come agente di rilevamento perdite e detergente nella produzione di circuiti stampati.
Data di pubblicazione: 1 novembre 2021
