Silano (SiH4)

Parametri tecnici

Il silano è un composto di silicio e idrogeno. È un termine generico per una serie di composti, tra cui il monosilano (SiH4), il disilano (Si2H6) e alcuni composti silicio-idrogeno di livello superiore. Tra questi, il monosilano è il più comune, a volte indicato in breve come silano. Il silano è un gas incolore con un odore disgustoso di aglio. Solubile in acqua, quasi insolubile in etanolo, etere, benzene, cloroformio, cloroformio di silicio e tetracloruro di silicio. Le proprietà chimiche dei silani sono molto più attive degli alcani e sono facilmente ossidabili. Può verificarsi combustione spontanea a contatto con l'aria. Non reagisce con l'azoto al di sotto di 25 °C e non reagisce con i composti idrocarburici a temperatura ambiente. L'incendio e l'esplosione del silano sono il risultato della reazione con l'ossigeno. Il silano è estremamente sensibile all'ossigeno e all'aria. Il silano, a una certa concentrazione, reagisce in modo esplosivo anche con l'ossigeno a una temperatura di -180 °C. Il silano è diventato il gas speciale più importante utilizzato nei processi di microelettronica a semiconduttore e viene utilizzato nella preparazione di vari film microelettronici, tra cui film monocristallini, microcristallini, policristallini, di ossido di silicio, nitruro di silicio e siliciuri metallici. Le applicazioni microelettroniche del silano sono ancora in fase di profondo sviluppo: epitassia a bassa temperatura, epitassia selettiva ed epitassia eteroepitassiale. Non solo per dispositivi e circuiti integrati in silicio, ma anche per dispositivi semiconduttori composti (arseniuro di gallio, carburo di silicio, ecc.). Trova inoltre applicazioni nella preparazione di materiali a pozzo quantico superreticolare. Si può affermare che il silano sia utilizzato in quasi tutte le linee di produzione avanzate di circuiti integrati moderni. L'applicazione del silano come film e rivestimento contenente silicio si è estesa dall'industria microelettronica tradizionale a vari settori come l'acciaio, i macchinari, la chimica e l'ottica. Un'altra potenziale applicazione del silano è la produzione di componenti ceramici ad alte prestazioni per motori; in particolare, l'uso del silano per produrre siliciuro (Si3N4, SiC, ecc.); la tecnologia delle micropolveri ha attirato sempre più attenzione.

Applicazione:

①Elettronico:

Il silano viene applicato agli strati di silicio policristallino sui wafer di silicio durante la produzione di semiconduttori e sigillanti.

②Solare:

Il silano viene utilizzato nella produzione di moduli solari fotovoltaici.

③Industriale:

Viene utilizzato nel vetro verde a risparmio energetico e applicato al processo di deposizione di vapore di film sottili.

Pacchetto normale:

Vantaggio:

①Più di dieci anni sul mercato;

②Produttore certificato ISO;

③Consegna veloce;

④Fonte di materie prime stabile;

⑤Sistema di analisi on-line per il controllo qualità in ogni fase;

⑥Requisiti elevati e processo meticoloso per la movimentazione del cilindro prima del riempimento;

⑦Purezza: grado elettronico ad alta purezza;

⑧Utilizzo: materiali per celle solari; produzione di polisilicio ad alta purezza, ossido di silicio e fibra ottica; produzione di vetro colorato.