Silano (SiH4)

Parametri tecnici

Il silano è un composto di silicio e idrogeno. È un termine generale per una serie di composti, tra cui monosilano (SiH4), disilano (Si2H6) e alcuni composti di silicio-idrogeno di livello superiore. Tra questi, il monosilano è il più comune, a volte indicato in breve come silano. Il silano è un gas incolore con un disgustoso odore di aglio. Solubile in acqua, quasi insolubile in etanolo, etere, benzene, cloroformio, cloroformio di silicio e tetracloruro di silicio. Le proprietà chimiche dei silani sono molto più attive degli alcani e si ossidano facilmente. La combustione spontanea può verificarsi a contatto con l'aria. Non reagisce con l'azoto al di sotto dei 25°C e non reagisce con i composti idrocarburici a temperatura ambiente. L'incendio e l'esplosione del silano sono il risultato della reazione con l'ossigeno. Il silano è estremamente sensibile all'ossigeno e all'aria. Il silano con una certa concentrazione reagisce in modo esplosivo anche con l'ossigeno ad una temperatura di -180°C. Il silano è diventato il gas speciale più importante utilizzato nei processi microelettronici dei semiconduttori e viene utilizzato nella preparazione di vari film microelettronici, inclusi film monocristallini, microcristallini, policristallini, ossido di silicio, nitruro di silicio e siliciuri metallici. Le applicazioni microelettroniche del silano sono ancora in fase di sviluppo approfondito: epitassia a bassa temperatura, epitassia selettiva ed epitassia eteroepitassiale. Non solo per dispositivi e circuiti integrati in silicio, ma anche per dispositivi a semiconduttore composto (arseniuro di gallio, carburo di silicio, ecc.). Ha anche applicazioni nella preparazione di materiali per pozzi quantici a superreticolo. Si può dire che il silano è utilizzato in quasi tutte le linee di produzione di circuiti integrati avanzati dei tempi moderni. L'applicazione del silano come pellicola e rivestimento contenente silicio si è estesa dalla tradizionale industria microelettronica a vari campi come quello dell'acciaio, dei macchinari, dei prodotti chimici e dell'ottica. Un'altra potenziale applicazione del silano è la produzione di parti di motori in ceramica ad alte prestazioni, in particolare l'uso del silano per produrre la tecnologia delle micropolveri di siliciuro (Si3N4, SiC, ecc.) ha attirato sempre più attenzione.

Applicazione:

①Elettronico:

Il silano viene applicato agli strati di silicio policristallino su wafer di silicio durante la produzione di semiconduttori e sigillanti.

②Solare:

Il silano è utilizzato nella produzione di moduli solari fotovoltaici.

③Industriale:

Viene utilizzato nel vetro verde a risparmio energetico e applicato al processo di deposizione di vapore a film sottile.

Pacchetto normale:

Vantaggio:

①Più di dieci anni sul mercato;

②Produttore del certificato ISO;

③Consegna veloce;

④Fonte di materie prime stabile;

⑤Sistema di analisi on-line per il controllo qualità in ogni fase;

⑥Elevati requisiti e processo meticoloso per la movimentazione del cilindro prima del riempimento;

⑦Purezza: grado elettronico di elevata purezza;

⑧Utilizzo: materiali per celle solari; produzione di polisilicio ad alta purezza, ossido di silicio e fibra ottica; produzione di vetro colorato.